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真空沉積系統

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產品名稱: 真空沉積系統
產品型號: HSV-12-80
產品廠商: 巖瀨商事
產品品牌: PHIL佐藤
產品文檔: 無相關文檔

真空沉積系統  的詳細介紹

PHIL佐藤 真空沉積系統 HSV-12-80

本系列電阻加熱蒸發設備結構緊湊，專為研發和小批量生產而設計。 該系列中的某些型號還可配備電子束 (EB)。

主仕様

型　　式 HSV-3-30G HSV-8-50 HSV-12-80
到達圧力 ×10-3Pa ×10-4Pa
基板加熱溫度 - Max 300℃
蒸発源（電極） 2対 10V Max150A 2対 20V Max200A
バルブ操作 手動 自動 手動 自動 手動
真空槽 φ300×H300mm
透明ガラス 		φ500×H500mm（水冷式）
SUS 304 		φ800×H700mm（水冷式）/前扉式
SUS 304
回転機構 - 公転機構 自公転機構
內部機構 快門機構、電阻加熱機構 百葉窗機構、加熱加熱器、電阻加熱機構
主ポンプ 油拡散3inches 油拡散8inches 油拡散12inches或低溫
補助ポンプ 150L/min 500L/min 1500L/min
主バルブ 3inches 8inches 12inches
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